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特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，工業(yè)特種氣體價格，以上分類存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，特種氣體供應商，又屬于外延氣體，同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應用。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-背壓法，背壓法的檢漏首要應用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。該辦法檢測靈敏度高，能完成小型密封容器產(chǎn)品的走漏檢測，能夠進行批量化檢測。可是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時刻太長。此外，每個丈量漏率都對應兩個等效規(guī)范漏率，在細檢完成后還需求選用其它辦法進行粗檢，掃除大漏的或許。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

選用背壓法檢漏時，首要將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，合肥特種氣體，假如被檢產(chǎn)品外表有漏孔，氦氣便經(jīng)過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將外表的剩余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會經(jīng)過漏孔走漏到真空容器，特種氣體生產(chǎn)廠家，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率丈量。檢漏儀給出的漏率值為丈量漏率，需求經(jīng)過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效規(guī)范漏率。

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